氦质谱检漏仪的构造氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了质谱示意图如下图：质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在10-3mbar以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
氦气检漏的原理如何运用到氦气侧漏仪呢?各种的氦气测漏仪使用的质谱管虽然有不同样式，但构造大致相同，1.离子源 2.离子分离器 3.离子侦测器3部分，离子源用来产生离子，其方式是由高温灯丝放射出热电子并加速进入离子舱，以电子碰撞方式将示漏的氦器离子化。所产生的离子由离子舱电压加速并进入离子分离器，离子源另外有排斥板及聚焦板，可分别控制倍加速的离子数目及离子数方向。
氦质谱分析检漏仪在各个领域的应用有三种关键检漏方法，即正压吸枪式、真空泵检漏、压氦法检漏。在高压容器空调制冷设备制造等领域，模拟具体工作条件进行检漏。正压检漏方法广泛应用于正压检漏和相对真空泵检漏两种方法。正压检漏方法有其特性。正压方法系在容器或产品工件内，充满氦气，然后根据吸枪在容器外部扫描仪进行检漏。
歌博氦质谱检漏仪日常保养知识分享
1）定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油呈棕色、褐色或闻起来有煳味，说明油已经变质。此时，应放出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2）定期清洗或更换机械泵的排气管。如果发现排气管内积存了很多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风吹干或是自然晾干。
